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Alicat質量流量控制器
MCW系列低壓損氣體質量流量控制器適用于低壓損應用環(huán)境、泄漏測試,也能縮短50 scccm或更低流速條件下的氣動響應時間。
若您需要現有熱式質量流量控制器的簡易替換件,MCE系列真空氣體質量流量控制器將閥門置于內部,使其工藝連接件與SEMI標準長度相符。
對于真用應用,MCV系列真空氣體質量流量控制器是在MCE系列的基礎上另增加一氣動截止閥。
BASIS系列OEM氣體質量流量控制器是艾里卡特的緊湊型質量流量控制器系列,專門設計用于OEM應用和大量訂單環(huán)境。
為滿足生物反應器市場的需求,Alicat發(fā)布了專門用于生物行業(yè)的BIO系列氣體質量流量控制器。
Alicat質量流量控制器
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